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產(chǎn)品分類高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到400℃。以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。
真空手動(dòng)探針臺(tái)變溫射頻探針熱臺(tái)該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)<5Pa分子泵可達(dá)<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺(tái)面,探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學(xué)信號。